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小測量半徑：2µm
小測量楔角：20°
小測量粗糙度（Ra）：80nm
小測量粗糙度（Sa）：50nm
大掃描高度：25mm
大操作距離：17.5（5×物鏡）
大擴(kuò)展視野范圍：2500mm2
垂直分辨率：20nm
大單一方向測量范圍：50mm
位移范圍（X/Y）:50mm×50mm(自動(dòng)調(diào)節(jié))
位移范圍（Z）:130mm(26mm自動(dòng)調(diào)節(jié))
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