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小測量半徑：2µm小測量楔角：20°小測量粗糙度（Ra）：80nm小測量粗糙度（Sa）：50nm大掃描高度：25mm大操作距離：17.5（5×物鏡）大擴展視野范圍：2500mm2垂直分辨率：20nm大單一方向測量范圍：50mm位移范圍（X/Y）:50mm×50mm(自動調(diào)節(jié))位移范圍（Z）:130mm(26mm自動調(diào)節(jié))
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